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(株)昭和真空

インライン型イオンガンエッチング装置

詳細情報

波長シフトレス対応多層膜真空蒸着装置

真空状態を作り出すためのハード技術・真空中におけるロボット搬送技術・パソコンによる自動化制御技術・真空中における成膜のソフトウエア技術等の得意技術があります。

事業内容

各種真空装置の開発・設計・製造および販売

主要製品・技術・生産品目

真空蒸着装置・スパッタリング装置・イオンプレーティング装置・真空エッチング装置・プラズマCVD装置・真空治金装置・その他真空装置

主要保有設備

光学用多層膜真空蒸着装置・多目的イオンプレーティング装置・実験用スパッタリング装置・実験用イオンプレーティング装置・実験用プラズマ重合装置・光学用全自動膜圧制御装置・分光光度計・マスフィルター型ガス分析計・電子顕微鏡・ネットワークアナライザー・十層式超音波洗浄装置・リークディテクター・三次元測定器・電離真空計

基本情報

所在地 〒252-0244 相模原市中央区田名3062-10
代表者 小俣 邦正
資本金 217710万円
従業員数 196人
TEL 042-764-0321
FAX 042-764-0329
URL http://www.showashinku.co.jp/

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